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干式螺杆真空泵是清洁真空技术的核心装备,采用一对精密同步齿轮驱动的高精度螺杆转子,泵腔内完全无油、无水,互不接触运转。该结构从根源上杜绝油污染和废水产生,尤其适合化工蒸馏、制药冻干、溶剂回收、锂电池干燥等对真空洁净度要求严苛的工艺。我司螺杆真空泵涵盖等螺距与变螺距两大系列,其中变螺距转子通过逐渐缩小齿间容积实现内压缩,排气温度比传统等螺距结构降低30%以上,节能效果显著且能有效抑制气体在泵内凝结。过流部件可选配铸铁、哈氏合金涂层、特氟龙涂层、改性塑料涂层。适应酸性、碱性及含少量粉尘的复杂介质。或者采用高端钛合金整体转子,哈氏合金整体转子,能够耐一定程度的盐酸,实验表明在20%浓度盐酸,常温条件下,浸泡哈氏合金转子试片,产品表面会形成一层黑灰色的钝化膜,请别腐蚀速率较低。抽速范围覆盖50-450L/S,极限真空≤1Pa,支持变频调速与远程智能运维,是现代工业实现绿色真空升级的理想选择。
采用干式无油螺杆结构,在抽气过程中工作腔内完全无油,既避免了油蒸汽对工艺的污染,又能从容应对盐酸等腐蚀性气体、粉尘及可凝蒸汽,是替代传统水环泵、液环泵和油封泵的升级方案之一。
螺杆真空泵详细参数

对比项 | 其他品牌 | 我们品牌 | 优势点 |
螺杆泵材质 | QT500/QT450/QT400 | QT600 | 抗拉强度≥600MPa,强度更高,保证微小间隙,珠光体含量≥70%,耐磨能力更强 |
极限真空度 | 标准10Pa | 1Pa | 在相同工况下,可以将真空度提升一个数量级,特别是密闭腔体抽真空度,优势明显 |
密封结构 | 机械密封 | 三重密封 | 迷宫密封+干式密封+氮气密封,创新密封结构,提高稳定的,确保零泄漏 |
其他部分 | / | / | 低噪音≤70分贝。无振动,排气温度相对低 |
售后 | / | / | 全年在线,24小时内必达现场 |
特性 | 2205 双相不锈钢 | 钛合金 | 哈氏合金 |
材料类型 | 双相不锈钢(铁素体+奥氏体) | 近α型钛合金 (Ti-0.3Mo-0.8Ni) | 镍基合金(Ni-Cr-Mo) |
主要耐腐蚀特性 | 氧化性酸/氯离子。优于304/316L | 对Cl⁻极其优异的抗缝隙腐蚀能力 | 全面耐蚀,在氧化和还原性环境均表现出色 |
耐酸性能对比 | 适用于稀硫酸等,但在高温/高浓度下性能下降 | 提升于纯钛,但不及C276 | 强酸王者。耐盐酸、稀硫酸等还原性酸 |
耐氯离子/缝隙腐蚀 | 同样优秀,但对Cl⁻耐受上限约10000ppm | 极为突出,可长期承受>5%的高浓度Cl⁻,点蚀电位≥+1200mV | 同样优异,耐氯离子应力腐蚀开裂能力强 |
适用温度范围 | 常用-50℃ 至 300℃,在此范围内性能稳定 | 约-50℃ 至 350℃,在300℃下仍可长期稳定工作 | 更广,约-196℃ 至 1000℃ |
真空泵适用场景 | 高机械强度、中等腐蚀:对强度要求高且腐蚀性适中的工况,如石化、烟气脱硫 | 高Cl⁻、中低温混合酸:高浓度Cl⁻的中低温强腐蚀环境,如海水、高盐废水、湿氯气 | 极端宽温域、混合强酸:温度波动大或含强还原性酸(如盐酸)的复杂工况 |
· 医药化工与冶金:真空蒸馏、溶剂回收、酸性气体抽除,在盐酸、硫酸雾环境下实现无废水排放的清洁真空。
· 镀膜与工业炉:用于PVD、CVD镀膜前级真空及真空热处理、钎焊工艺,可获得清洁无油的高真空环境,提升膜层结合力与工件光亮效果。
· 半导体制造:刻蚀、薄膜沉积等工艺中,提供纯净的真空背景,避免碳氢化合物污染。
· 锂电池制造:合浆、注液、干燥工序抽除NMP等有机溶剂,适配溶剂回收系统,有助于降低生产成本并满足环保要求。
实验照片(20%浓度盐酸)
